| 产品特性：热卖 | 是否进口：否 | 产地：韩国 |
| 加工定制：是 | 品牌：Park Systems | 型号：NX10 |
| 测量范围：100um X 100um | 测量精度：0.1nm | 分辨率：0.015nm |
NX10创新的功能
准确成像，无交叉耦合现象
· ******的 XYZ轴线性度，样品和探针分别由独立的柔性制导扫描器控制移动
· ***的平面偏移度 ，全程水平扫描时平面偏移量不超过1纳米
? 垂直扫描器全程伸缩时，线性度优于 0.015%
? 优化的水平扫描器 ringing 现象，科学的正向sine-scan算法
准确扫描，真正的非接触模式
· ******的垂直扫描器 ，带宽超过9 kHz , 探针垂直伺服响应速度超过 62mm/sec
· 在非接触模式下最快的扫描速度
· 极低的探针磨损，能够***长时间的高质量扫描
? 极低的样品损伤
准确测量，真正的样品形貌
· 采用******的低噪声迟滞检测器测量样品形貌
? ******的极小正反测量偏离量，小于0.15%
· 采用优化的散热部件，***降低了系统热漂移和迟滞现象
· 功能强大的***隔音罩，舱体内部主动控温
用户工作效率
· 开放式的设计，方便更换探针和样品
· 探针预定位装夹设计 ，简单便捷的测量激光调节过程 ，具有专利的自上至下的直观观察系统
· 创新的“十秒进针”功能，探针可自动高速完成进针操作
? 24位数字电控箱 ，三组内置锁存放大器 ，具备Q- control和弹性常数校准功能
型号 | Park NX10 | |
扫描仪 | XY扫描仪 | 50um*50um(可选10um*10um或100um*100um) |
Z扫描仪 | 12um(可选30um) | |
形貌噪音 | <0.03nm(标准值0.02nm） | |
光学 | 物镜 | 10X（20X可选） |
电子 | ADC | 18个频道 4个高速ADC频道（50MSPS）24位ADC的X,Y和Z位置传感器 |
DAC | 12个频道 2个高速DAC频道（50MSPS）20位DAC的X,Y和Z定位3个频道的集成锁定放大器 | |
样品台 | XY平台行程 | 20mm X 20mm |
Z平台行程 | 22mm | |
聚焦平台行程 | 15mm | |
样品尺寸 | 高达50mm X 50mm最多厚20mm | |
物理信息 | 外形尺寸 | 700mm（长）X800mm（宽）X1300mm（高） |
