加工定制:是 | 品牌:SUSS | 型号:ACS300 Gen2 |
用途:涂胶 | 是否跨境货源:否 |
ACS300 Gen2是模块化一体机,它的设计完全能够很好地客户生产对洁净度、可靠性、高产能以及模块化光刻工艺的要求,设备可以生产200和300mm尺寸的晶圆片,在变换晶圆片尺寸时,无需作任何机械改装。
ACS300 Gen2系统可以配置不同的工艺模块:HMDS预处理模块、旋涂模块,喷涂模块、水基或溶剂型显影模块以及冷热板模块。系统既精于处理厚胶和薄胶工艺,又可以完成光敏性聚合物,例如聚酰亚胺和苯并环丁烯(BCB)的相关工艺。SUSS MicroTec的ACS300 Gen2系统能够处理传统光刻胶工艺、三维集成,以及晶圆级封装技术的各类工艺要求。
ACS300 Gen2能够灵活适应从研发到试产、再到量产的使用需求。占地很小的两个载片窗口模块直接搭载于基本模组,将客户的操作成本降至***。如果配置两组前端模块(EFEM),设备可以搭载4个载入窗口模块。设备配有高精度6轴机器人以及光学定中心系统。独特的GYRSET工艺闭盖设计,无论胶厚低于1μm或高于100μm,均能获得极好的均匀性。
可以和MA300 Gen2接近式光刻机组合成为LithoPack300一体机